Xitoyning yarimo'tkazgich sanoatining rivojlanishi bilan texnologik asbob-uskunalar uchun asosiy komponentlarni ishlab chiqish uskunalarni ishlab chiqishda muhim cheklovga aylandi. Mahalliy yarimo'tkazgich texnologiyasini mahalliylashtirishga bo'lgan talab kuchayib borayotgani sababli, yarimo'tkazgich sanoatida tobora ko'proq to'siq bo'lgan texnologiyalar engib o'tiladi. Yarimo'tkazgich sanoatidagi ko'p yillik tajribaga asoslanib, kompaniyamiz yarimo'tkazgichlarni qoplash, ishlab chiqish va tozalash uskunalarida gofretlarni adsorbsiyalash uchun ichi bo'sh{2}}valli yuqori- servo motorni ishlab chiqdi. Ushbu vosita yuqori tezlashtirish, keng tezlik diapazoni va yuqori sezgirlik bilan ajralib turadi va sanoatdagi mijozlar tomonidan keng maqtovga sazovor bo'ldi.
Bo'shliq-val servo dvigatelining qo'llanilishi:
Ekspozitsiya va ishlab chiqish uskunalari (qoplama, ishlab chiqish): Fotolitografiya jarayonlari uchun asosiy uskunalar, qoplamani boshqarish, ta'sir qilish va ishlab chiqish.
Tozalash, qoplash, ishlab chiqish va plyonkalarni olib tashlash uchun uskunalar.
Jismoniy chayishni tozalash, zarrachalarni tozalash va purkash jarayonlari uchun javob beradi.
Bo'shliq mil servo motor mahsulotining texnik xususiyatlari va qo'llanilishi:
750W / 1000W - 5000, 6000 rpm
Ilova sohalari (yuqori{0}}modellar):
8 dyuymli va 12 dyuymli yarimo'tkazgichli uskunalar.
Qoplash, ishlab chiqish, tozalash va qirqish kabi jarayonlar.
Maksimal tezlashuv 50000 R/S² lahzali tezlashuvga yetishi mumkin.
Maxsus mil uchi dizayni mil uchi yukining eng past koeffitsientini ta'minlaydi.
